ปิดที่อุณหภูมิห้อง เย็น อากาศถ่ายเท และแห้ง
วิธีการสังเคราะห์
วิธีการแยกน้ำแบบสูญญากาศด้วยการตกตะกอนของกรดไฮโดรฟลูออริก กรดไฮโดรฟลูออริกที่มากเกินไปจะถูกเติมลงในเออร์เบียมคลอไรด์หรือเออร์เบียมไนเตรต และสารละลายในน้ำจะถูกระเหย ทำให้เข้มข้น ทำให้เย็นลง และตกผลึกบนอ่างน้ำเพื่อให้ได้ไฮเดรตของเออร์เบียม ไตรฟลูออไรด์ จากนั้นให้ความร้อนในสุญญากาศเพื่อเอาน้ำที่เป็นผลึกออก
ความเข้มข้นของกรดไฮโดรฟลูออริกโดยทั่วไปอยู่ระหว่าง 40% ถึง 48% และปริมาณการใช้คือ 110% ถึง 120% ของปริมาณตามทฤษฎี การตกตะกอนของเออร์เบียมฟลูออไรด์ที่ตกตะกอนจากสารละลายในน้ำจะต้องล้างให้สะอาดด้วยน้ำโดยใช้วิธีการเท ตะกอนที่กรองแล้วจะถูกทำให้แห้งที่ 100-150 องศาเพื่อกำจัดน้ำที่ดูดซับออก รับฟลูออไรด์ที่มีเฉพาะน้ำที่เป็นผลึก เพื่อหลีกเลี่ยงการไฮโดรไลซิสที่อุณหภูมิสูงในระหว่างการคายน้ำและการเกิด ErOF ของฟลูออรีนออกไซด์ กระบวนการคายน้ำจะต้องได้รับความร้อนในสุญญากาศ ระดับสุญญากาศควรสูงกว่า 0.133Pa และอุณหภูมิการคายน้ำไม่ควรต่ำกว่า 300 องศา
วิธีการคายน้ำอีกวิธีหนึ่งคือการใส่เออร์เบียมฟลูออไรด์แบบไฮเดรตในกระแสก๊าซไฮโดรเจนฟลูออไรด์แห้งสำหรับการคายน้ำ โดยมีอุณหภูมิการคายน้ำสุดท้ายที่ 600-650 องศา เนื่องจากการตกตะกอนของกรดไฮโดรฟลูออริกเกิดขึ้นในสารละลายที่เป็นน้ำ โดยทั่วไปจึงมีการใช้ภาชนะทำปฏิกิริยาแบบพลาสติก และอุปกรณ์คายน้ำควรทำจากวัสดุที่ทนต่อการกัดกร่อนที่อุณหภูมิสูง ซึ่งโดยปกติแล้วจะเป็นวัสดุโลหะผสมที่มีนิกเกิลเป็นหลัก